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SR210A-210/2.65 SR12A-12/1.46 SN4A-4/0.58 SN7B-7/0.90 SR25-20/1.76 SR25A-12/2.01
工業(yè)清潔機器人 底盤合裝型移動機器人 新能源電池行業(yè)移動機器人 輔助裝配型移動機器人 叉式搬運移動機器人 重載型移動機器人
桁架機器人 核應急機器人 探龍系列蛇形臂機器人 重載垂直多關節(jié)機器人 智能布設/回收機器人 長臂展機器人
TSS-3000 EFEM 真空機械手 Archer 系列 真空傳輸平臺Diagram 600 真空機械手PHOENIX B系列 真空機械手PHOENIX-S25系列 真空機械手PHOENIX PLUS B系列
GCR系列GCR25-1800 GCR系列GCR16-2000 GCR系列GCR7-910 GCR系列GCR12-1300 GCR系列GCR3-618 GCR系列GCR5-910
座椅標準系列激光焊接系統(tǒng) 三維五軸激光切割機 激光拼焊生產(chǎn)線 縱剪機組自動換刀單元 剪板機機器人自動上下料單元
自動檢票機（AGM） 自動售票機（TVM） 互聯(lián)網(wǎng)售票機（iTVM） 智能客服中心 自助客服一體機(iBOM) 自動駕駛機器人
智能助行器 電動站立助行器 下肢可穿戴訓練器 下肢動力外骨骼機器人 上下肢主被動訓練系統(tǒng)-座位款 上下肢主被動訓練系統(tǒng)-床邊款
汽車焊裝生產(chǎn)線 前、后懸總成底盤合裝移動機器人解決方案 新能源車載充電器OBC生產(chǎn)線 新能源電驅(qū)動裝配線
鋰電銅箔制造智能物流 鋰電行業(yè)移動機器人解決方案 鋰電智能物流系統(tǒng)解決方案 鋰電化成分容生產(chǎn)測試系統(tǒng)
刮板輸送機結(jié)構(gòu)件自動化焊接生產(chǎn)線 集裝箱底部托盤柔性化焊接工作站 工業(yè)機器人船舶智能焊接解決方案 廂式物流車廂體智能生產(chǎn)線
機器人+智慧康養(yǎng) 醫(yī)藥領域智能物流解決方案 智能康養(yǎng)系統(tǒng)解決方案 丁基膠塞智能車間
工業(yè)機器人液晶電視綜合解決方案 智能化服務器制造生產(chǎn)線
LNG罐箱智能產(chǎn)線 輪胎行業(yè)智能物流解決方案 石化領域智能物流解決方案
工業(yè)機器人鋼結(jié)構(gòu)智能焊接系統(tǒng) 天窗&門環(huán)產(chǎn)品激光拼焊線
自動售檢票（AFC系統(tǒng)） 綜合監(jiān)控（ISCS系統(tǒng)） 環(huán)境與設備監(jiān)控（BAS系統(tǒng)） 智慧出行平臺
工業(yè)機器人教育實訓系統(tǒng) 協(xié)作機器人智能教室
智能車間星衛(wèi)來機器人清潔方案 成品面箱自動化輸送碼垛系統(tǒng) 家居木門全自動化裝備生產(chǎn)線 復合機器人煙草機械行業(yè)解決方案
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一體化程度高，自動化程度高，安全區(qū)保護,SEMI認證S2、F47,網(wǎng)絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風扇 過濾系統(tǒng)，可拆分的設備結(jié)構(gòu)，從而保證設備潔凈、可靠的運行。
直驅(qū)電機結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。
作為半導體制造生產(chǎn)線的必要設備，本平臺一般包含在整套半導體制造設備系統(tǒng)之中，是硅片盒（Cassette）到工藝腔（CVD，ALD，PVD等）之間的硅片搬送系統(tǒng)。
具有先進的防碰撞保護功能及動態(tài)糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能，可滿足半導體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。
具有先進的防碰撞保護功能及動態(tài)糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能，可滿足半導體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性、高溫工況使用要求。
SEMI認證S2、F47 接口可用戶定制
LoadPort是新松公司自主研發(fā)的一種晶圓裝載裝置，可安裝在EFFM上，適用于8寸和12寸晶圓盒的裝載，具備準確的mapping功能，可自動識別盒內(nèi)晶圓各槽狀態(tài)，如單片、跨片、異常片，通過獨創(chuàng)的開關門機構(gòu)和精確的運動控制，實現(xiàn)了高清潔性能，同時具有良好的穩(wěn)定性和速度。
SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動開關盒，效率高，穩(wěn)定性好，重復定位精度高，潔凈等級為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動檢測盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有開盒時自動識別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護功能，可以自動監(jiān)測盒內(nèi)異常狀況，有效保護晶圓；具有實時檢測的機械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國大陸自主設計制造，推動了國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的進步，有效的支撐了國內(nèi)半導體設備的發(fā)展。
立式爐Mini STK應用于立式爐管設備前端，適用于FOUP的轉(zhuǎn)運 、暫存和開盒。
高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F(xiàn)47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。
高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制。
高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制
高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護， SEMI認證，提供接口及末端定制
高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護， Mapping，SEMI認證S2，F(xiàn)47
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