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TSS-3000 EFEM

EFEM是一個晶圓前端傳輸設備，是一個與SEMI標準兼容的界面系統(tǒng)，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過雙軸復合運動實現(xiàn)取放片，極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護成本。內部全新的氣體導流結構，保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設備的安全。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢

符合SEMI標準
整機參照SEMI進行設計，符合半導體行業(yè)標準
自主研發(fā)
大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發(fā)，穩(wěn)定性高
尺寸多樣性
采用行業(yè)標準尺寸，內部空間布局合理，結構緊湊性強，可根據(jù)用戶需求定制
傳輸效率高
多款大氣手、aligner等部件可供選配，可配置外部軸，大氣手可實現(xiàn)多種取放功能，傳輸效率高
標準化程度高
內部零部件高度標準化模塊化，互換性高
兼容性強
可根據(jù)用戶的實際需求進行非標定制

Application areas

產(chǎn)品應用領域

半導體晶圓傳輸

parameter

產(chǎn)品參數(shù)

尺寸

2100*750*2500mm
重量

≤1100kg
潔凈等級

class 1
wafer放置位置精度

±0.1mm
wafer放置角度精度

±0.2°
WPH

≥150

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